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713 搞出光刻机挺直腰杆子(4k)(1/2)

作者:南柯一凉
 “狼烟起,江山北望……”

酒店里,喝到烂醉如泥的高媛媛被手机铃声吵醒,迷迷糊糊地抬头找了找,声音来自床头柜上的手机,但手机的主人,不见踪影。

“阿飞。”

高媛媛强撑着下床,走路绵软无力。

“我在这儿。”

陆飞打开浴室的大门,坦荡地冲她笑了下,接过手机,“喂、欣姐。”

高媛媛洗了把脸,然后脱掉衣服,走进淋浴间冲洗自己,流水声哗哗作响。

“好,好,10点我就出发。”

陆飞坐在浴缸里,悠悠道:“欣姐,TVB这边,就麻烦你陪媛媛处理了。”

高媛媛听到这话,精神大振,竖起耳朵。

“……欧洲那边,不用担心,我已经让布洛森24小时盯着,任何风吹草动都要汇报。”

陆飞抹了一把脸。

希腊的国债评级又被惠誉和标准普尔下调,降到了垃圾级,已经到了必须欧盟兜底的地步,终于把债务危机扩散到整个欧元区。

收割欧洲的时刻,马上就要到了!

等两人聊完挂断电话,高媛媛才走出玻璃隔断,幽幽说:“阿飞,我今天就不送你去机场了,唔,有点不舒服。”

“谁让你昨天喝了那么多酒。”

陆飞抓着她的手,拉入浴缸里。

心疼之余,不得不感慨高媛媛醉得真是时候,而且还不省人事,要不然也不能给自己创造机会,夜里能跟曾丽单独庆祝封后之喜。

大满贯最好的奖励,自然也是大满灌。

”下次不会了。”

高媛媛意味深长地白了眼,“曾丽姐她们有没有跟你说今天坐你的飞机去鹏城。”

“说了……吗,我怎么不知道。”

陆飞一个激灵。

“那我现在跟你说,你不会介意吧?”

高媛媛得留下来,跟徐欣完成TVB最后的收购签约仪式,杨蜜、景恬则继续自己的好莱坞征程,而曾丽、刘师师她们回内地。

“怎么会。”

陆飞笑道:“不过我听说师师拍完《步步惊心》之后,状态不对,有没有这回事?”

“蜜蜜、恬恬她们跟你说的吧。”

高媛媛点了下头,“师师可能陷进角色里还没有出来,对吴奇龙的感情有点复杂。”

“这可不符合我们‘四小花旦’的造星计划。”陆飞一本正经地说。

“放心吧,虹姐已经警告过吴奇龙团队。”高媛媛靠在他的怀里,“早餐叫了吗?没有的话,吃了再走吧。”

“当然吃了再走,不过呢,先吃你!”

陆飞嘿然一笑,“把昨天的夜宵补上。”

“呜呜呜~”

跟曾丽她们暂时分别,陆飞坐上车,马不停蹄地赶到逻辑,孙红军早就在门口等候。

“他们人呢?”

“陆总,都在中心呢。”

一行人驱车来到僻静的三体实验基地,沿途布满了安保人员,路的尽头是一间占地上万亩的新建厂房,表面看上去,非常不起眼。

一下车,来到换装间,陆飞就看到已经穿着防尘服的梁孟松、尹志尧,以及职工。

苏姿丰、胡煜华、孟婉舟这些逻辑的上将,即便半步踏入轮值董事会,也没有资格第一时间参观,消息还封锁在最高统帅部一级。

“陆总。”

梁孟松、尹志尧等人喊了一声。

“走吧。”

陆飞换好装备,穿过走廊,墙壁上挂着华夏第一枚原子弹跟氢弹的当天报纸和照片。

头顶,悬挂着一条条横幅,都是激励士气的口号语,其中最显眼的莫过于——

“搞出光刻机,挺直腰杆子!”

“陆总,这就是我们自主研发的65nArF干式光刻机,由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克,下一步就是预生产,在生产中不断改进完善,然后逐步实现量产化。”

孙红军兴奋至极,“预计一到两年,就能全部替代掉ASML和尼康的65n光刻机。”

“还是自己的机器香啊!”

陆飞透过玻璃,看着工作人员有条不紊地操作,余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲,“这么难得的好日子,你们怎么看上去不是很高兴啊,难道是光刻机还有什么质量上的问题,或者技术上的缺陷?”

“陆总,设备没有问题,技术也没有问题,就是……就是有一个坏消息……”

尹志尧一脸为难。

“什么坏消息?”

陆飞鼓励道:“没关系,说出来,不说出来,我们又怎么想办法解决呢?”

“陆总,ASML研发出了全球第一台EUV光刻机,已经送到三星的研究机构预生产。”

尹志尧无奈地叹了口气。

“你看你,又急。”

陆飞挑了挑眉,倍感意外,这么凑巧!

EUV光刻机的出现,相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代,遥遥领先于他们。

第一代光刻机是以436n的g-le汞灯光源为主,只适用于5μ以上制程。

之后出现了365n的i-le汞灯光源的第二代光刻机,制程精度来到了350到500n。

这两代都只能算是接近式光刻机,到了第三代扫描投影式光刻机,才实现了跨越式的突破,把最小工艺推进至150到250n。

他们生产的65nArF干式光刻机,算是第四代,也就是步进式投影式光刻机,制程工艺最高可以推进到65n,想要更上一层——

就得用到浸入技术,也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中,在此基础上,就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。

本来,逻辑跟ASML这些国际一线的光刻机厂商,就只剩ArFi这么个半代差距。

但EUV光刻机一出现,又把这个差距拉到了至少5代,而且这个技术差距,不像制程工艺那么好追,是整个产业链的全面落后。

“不是我急,陆总,一旦EUV预生产成功的话,英特尔、三星、台积电也许不出三五年,就能得到EUV光刻机的生产线……”

尹志尧话里无不透着焦虑。

“尹教授,这台EUV,ASML、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来?”陆飞透过面罩的玻璃,直直看去。

“从林本坚提出浸润式微影技术的理论,到现在,大概十三、十四年。”

梁孟松站出来回答。

“对嘛,这不就结了。”

陆飞拍了拍尹志尧的肩膀,“EUV集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才,也要花13年的时间,何况是我们呢!”

“陆总说的没毛病!”

孙红军机敏地当捧哏。

“咱们研究起步晚,技术经验积累少,人才还不够不精,再加上特么的技术封锁,能在这么短的时间,攻克65nArF干式光刻机,就已经很不正常了,再快就该拍科幻片了。”

陆飞笑道:“落后不可怕,可怕的是不追赶,你看我们现在,已经步入正轨了。”

“可不是嘛,快赶上小霓虹了!”

孙红军嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能,在光刻机路线上,不去梭哈湿刻法,而是全力押注干刻法,却失败了,白白耗费人力财力时间。

今后,逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场,先干翻了小霓虹!

“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先别急,ArFi会有的,EUV也会有的!”

陆飞环顾四周,激励士气。

“陆总!”

尹志尧郑重地点了下头,他作为中微半导体的领军人,非常清楚逻辑是两条腿走路,既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机,又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。

而且满世界找帮手,比如徕卡。

“老孙,这次的奖励方案做出来了嘛?”

陆飞侧目望向孙红军。

“已经拟出个初步方案,就等您来定。”

孙红军应了一声。

“嗯,但凡这次参与光刻机项目的,哪怕是拧了个螺丝的,也要多发奖金!”

陆飞双手叉腰,“65n有了,还怕没有ArFi?没有EUV?接下来我们就向32n、28n,甚至28n以下的发起冲击,不管是10年、20年,还是多长时间,也要搞出来!把这颗工业明珠给我摘下来,当弹珠卖!”

“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程,毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。”

尹志尧脸上露出一丝愧疚。

“梁博士,你的意思呢?”

陆飞把目光投向梁孟松。

“陆总放心,难度肯定是有的,但我可以保证,32n,今年下半年就能风险性试产。”

梁孟松话锋一转,说出难题。

芯片代工制造的过程非常复杂,需要多方面的技术和设备支持,就像14n是个关键的分界线,28n也是个关键的分界线。

但设备还不是他最担心的,他最担心的是中芯被台积电打倒之后,下一个就轮到逻辑。

“这种情况我不是没有考虑。”

陆飞摆了摆手:“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电,就是让章忠谋顾虑,既想对付我们,又怕失去我们的订单。”

“可按我对章忠谋的了解,肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道,“另外还有三星……”

陆飞笑道:“梁博士,三星现在的技术负责人还是蒋尚义,哪怕拿到了EUV光刻机,你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗?”

“没有!”

梁孟松想也不想,“没这个可能!”

“对嘛,就连40/45n工艺,三星还是靠我们,很难说不会又在一个节点上卡住,难以突破。”陆飞严肃说,“这么一比,台积电才是我们最大的敌人!不管现在,还是将来!”

“台积电那边计划今年过渡到32n,然后最早在明年转向28n,我们的进
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